I Star Wars: Episode III – Revenge of the Sith var mästare Yoda en av de enda två jedier som man vet att han överlevde Order 66. Vid den tiden befann sig Yoda på Kashyyyk och hjälpte de infödda Wookieerna att slåss mot konfederationens drönararmé. Med hjälp av Chewbacca och Tarfful flydde Yoda från Kashyyyk för att möta Bail Organa och Obi-Wan på Alderaan. Kort därefter återvände Yoda och Obi-Wan till Jeditemplet på Coruscant där de fick reda på Anakins förräderi och Palpatines Sith-identitet. Med ordern decimerad och inga fler jediriddare kvar att utbilda gick Yoda under jorden.
Obi-Wan Kenobi
Obi-Wan befann sig på planeten Utapau för att jaga general Grievous när klonkommendörkapten Cody fick ordern om att slå till mot sin Jedi-general. Obi-Wan, som korsade en klippa på den ödleliknande Boga, föll ner i vattnet nedanför och lyckades fly från planeten utan att klonerna märkte det. Efter sin duell med Anakin på Mustafar släppte Obi-Wan den infantila Luke till sin moster och farbror och Tatooine och tillbringade de flesta av sina återstående år med att skydda Luke på avstånd.
Ahsoka Tano och Maul
När Ashoka Tano introducerades i Star Wars: The Clone Wars som Anakins padawan var fansen säkra på att hon skulle omkomma under Order 66. Hon lämnade Jedi-orden under finalen av säsong 5 och hennes efterföljande bok och framträdande i Star Wars Rebels avslöjade att hon överlevde efter Order 66, men det var inte förrän i Clone Wars-finalen nyligen som fansen upptäckte hur nära hon var. Ahsoka var på väg att överlämna en tillfångatagen Maul till Jedirådet på Coruscant när ordern gavs. Efter att ha släppt Maul fri som en distraktion och lärt sig om inhibitorchipet lyckades Ahsoka ta bort Rexs. De två kämpade sig igenom tidigare vänner tills deras skepp kraschade på en oidentifierad snöig måne som ser ut som Hoth. Maul lyckades fly och endast Ahsoka och Rex överlevde kraschen och fejkade sin egen död.
Grand Inquisitor
Grand Inquisitor var den huvudsakliga antagonisten i den första säsongen av Star Wars Rebels, men efter hans död avslöjades det att han brukade vara en Jediriddare och en tempelvakt. Han var närvarande vid Ahsokas rättegång när hon anklagades för att ha bombat Jeditemplet och för att ha förrått orden. Det avslöjades slutligen att Ahsoka var oskyldig, men den falska anklagelsen och ordens behandling av Ahsoka gjorde att storinkvisitorn blev desillusionerad av Jedi-orden och han hoppade av före Order 66 och föll slutligen för den mörka sidan. Senare blev han kontaktad av kejsar Palpatine för att leda Inquisitorius, ett gäng Jedi-jägare.
Caleb Dume
En gång i tiden var han padawan till Depa Billaba, men fansen mötte Caleb för första gången som Kanan Jarrus, vars bakgrundshistoria avslöjas i Star Wars: Rebels. Kanan var bara ett barn i slutet av klonkrigen och överlevde tack vare sin mästares uppoffring. Efteråt togs den unge Caleb emot av smugglaren Janus Kasmir, som rådde honom att förlora alla kopplingar till Jedi-orden, till och med sitt namn. Således föddes Kanan Jarrus.
Luminara Unduli
Jedi-mästaren Luminara Unduli avslöjades ha överlevt den ursprungliga avrättningen i Star Wars Rebels. När ordern gavs befann sig Luminara på Kashyyyk tillsammans med Yoda, och istället för att dödas blev hon tillfångatagen och förd till Spire på Stygeon Prime. Hon avrättades av storinkvisitorn inte långt därefter, men Imperiet behöll hennes kvarlevor och spred rykten om att hon levde för att locka överlevande Jedi.
Femte bror och sjunde syster
.
Femte brodern och sjunde systern var medlemmar av de kejserliga inkvisitorerna och sekundära antagonister i Star Wars Rebels tillsammans med storinkvisitorn. Det avslöjades i Darth Vader-serierna att alla inkvisitorer var fallna Jedi. Alla Jedi som inte avrättades som en del av den stora Jediutrensningen efter Order 66 övergick till den mörka sidan och fick i uppdrag att jaga överlevande Jedi, kraftkänsliga barn och politiska dissidenter. Både den femte brodern och den sjunde systern var icke namngivna före detta Jedi som överlevde Order 66 och tvingades in i Inquisitorius-programmet.
Trilla Suduri och den nionde systern
Aller andra medlemmar av Inquisitorious var Trilla Suduri, den andra systern, och den namnlösa nionde systern, båda antagonistiska karaktärer i det kanoniska videospelet Jedi: Fallen Order. Trilla var tidigare padawan till Cere Junda, och i Imperiets tidiga dagar gömde de sig tillsammans med en grupp ungdomar som de skyddade. Tyvärr blev båda tillfångatagna och utsattes för tortyr. Cere lyckades fly, men Trillas tortyr förvandlade henne till den sadistiska Second Sister. Hennes historia som avslöjades i Fallen Order gav fansen en inblick i hur fallna jediriddare förvandlades till inkvisitorer. Den nionde systern omkom i strid i händerna på Cal Kestis medan Trilla slogs ner av Darth Vader själv för att hon inte uppfyllde sina uppgifter som inkvisitor.
Cere Junda
När hon tillfångatogs av Imperiets styrkor, Cere Junda bröt ihop under tortyr och gav upp sin padawan, en bidragande faktor till Trillas fall till den mörka sidan. En tid efter Trillas förvandling till den andra systern togs hon in för att håna Ceres misslyckande som jedi och mästare. Överflödande av ilska och ånger tappade Cere till den mörka sidan och dödade alla i rummet (även om Trilla överlevde) innan hon flydde. Cere kapade sig själv från Kraften efter det, rädd för att falla djupare in i den mörka sidan, tills hon träffade Cal Kestis.
Cal Kestis
Cal Kestis, hjälten i Fallen Order var ett barn i slutet av klonkrigen och padawan till Jaro Tapal, den enda kända medlemmen av Lasat-arten som utbildades till Jedi. Liksom Yoda kände Tapal sina Jedi-bröders fall under Order 66 och lyckades skydda Cal tillräckligt länge för att han skulle kunna fly i säkerhet till planeten Bracca. Tapal blev tyvärr dödligt skadad och dog i sin padawans armar. Cal har burit sin omkomne mästares ljussabel ända sedan dess.
Taron Malicos
Taron Malicos var en pålitlig jedi-general under klonkrigen som först introducerades i Fallen Order. Efter att han slagit ner sina klontrupper kraschlandade Malicos på Dathomir, hemvist för Zabraks och de nu nästan utdöda Nightsisters, häxor från den mörka sidan. När han träffade Merrin, den sista överlevande Nightsister, berättade han för henne att Jedi var ansvariga för folkmordet på hennes systrar och lovade henne hämnd om hon lärde honom Nightsisters magi. När Cal Kestis kom till Dathomir och fick reda på Malicos bedrägeri duellerade de två tills Merrin använde sin Nightsister magick för att begrava Malicos i marken. Det är möjligt att vi får veta mer om Malicos när Fallen Order-franchisen expanderar med framtida spel.
Jocasta Nu
Jocasta Nu var bibliotekarie för Jedi-arkivet i templet på Coruscant. Det har inte avslöjats exakt hur Jocasta överlevde den första avrättningen, men i Darth Vader-serierna ville Sidious att Jocasta skulle föras till honom levande eftersom hennes kunskapsrikedom skulle ha varit värdefull för Imperiet. När Jocasta återvände till Jeditemplet för att hämta holokronan med kraftkänsliga varelser med planer på att starta en skola och återupprätta Jedi-orden, korsade hon vägen med storinkvisitorn när Darth Vader ingrep. Efter en långvarig konfrontation lyckades Vader och en pluton chocktrupper från Coruscant fånga och hålla fast Jocasta på en patrulltransport. Där avslöjade Jocasta Darth Vaders sanna identitet, som hon fått veta av en droid i arkiven. För att bevara sin hemlighet dödade Vader alla shock trooper och Jocasta, som accepterade sitt öde.
Oppo Rancisis, Coleman Kcaj, Ka-Moon Kholi och Selrahc Elous
Oppo Rancisis, Coleman Kcaj, Ka-Moon Kholi och Selrahc Eluos var alla namn på en lista över kända överlevande som sammanställts av Inquisitorius, vilket visas i Darth Vader-serierna. Oppo Rancisis var en jedimästare som tjänstgjorde i rådet under invasionen av Naboo, och Coleman Kcaj var en jedimästare som tjänstgjorde i rådet i slutet av klonkrigen och var närvarande vid Ashoka Tanos rättegång i Star Wars: The Clone Wars. Man vet inte mycket om de andra två, och de exakta detaljerna om hur de överlevde avslöjas inte heller i Star Wars-kanonerna.
Kirak Infil’a
Kirak Infil’a var inte en aktiv medlem av Jedi-orden under Order 66. Det avslöjades i Darth Vader-serierna att han kände av Jedis död, på samma sätt som Yoda och Jaro Topal gjorde. På jakt efter en kyberkristall spårade Darth Vader Infil’a till ett Jeditempel på en icke namngiven måne. Infil’a lyckades undkomma Vader, men de två drabbade samman igen Am’balaar City. Den här gången besegrade och avrättade Vader Infil’a och tog den före detta Jedins ljussabel för att tillverka ett nytt till sig själv.
Naq Med
Naq Med, som introducerades i ungdomsromanen Force Collector, lämnade Jedi-orden en tid före Order 66 och fick en dotter med en oidentifierad kvinna. Efter att ha fått veta om den stora Jediutrensningen och en konfrontation med storinkvisitorn övergav Naq Med sin familj för att skydda dem. I boken spårades han upp av sin barnbarns son Karr Nuq Sin som var en skicklig psykometriker, en kraftkraft som syns i Fallen Order och som är ansvarig för Reys visioner i Star Wars: The Force Awakens.
Ferren Barr
Ferren Barr var padawan när Order 66 utfärdades, och det är okänt hur exakt han överlevde den första avrättningen. Efter sin exil lyckades Ferren hacka sig in i ett hologram från Coruscant Security Force och fick reda på Darth Vaders identitet. Med denna kunskap började Ferren rekrytera människor som sympatiserade med Jedis fall för att störta Siths kontroll över galaxen. Han dödades slutligen i strid under en konfrontation med Darth Vader.
Eeth Koth
Eeth Koth var en zabrakisk jedimästare, men han hade lämnat ordern före Order 66 och hade några år senare fått en dotter. Några ögonblick efter dotterns födelse dök Darth Vader i sin serie upp, flankerad av en grupp inkvisitorer. Eeth Koth slogs ner av Vader och hans dotter kidnappades för projekt Harvester.
Zubain Ankonori and company
Zubain Ankonori was a Zabrak Jedi who was first introduced in the mobile game Star Wars: Uprising. After somehow surviving Order 66, Ankonori was given refuge at a Jedi shrine in Anoat alongside fellow Jedis Mususiel, Khandra, and Nuhj, all new Star Wars canon characters introduced in Uprising alongside Ankonori. Unfortunately, all four were ultimately slain by the Inquisitors.